Jetzt als vollautomatische Inspektionslösung für Advanced Packaging erhältlich, das CA20 liefert ausgezeichnete 2D- und 3D-Bilder in höchster Auflösung, ermöglicht die schnellste Inspektion von mikrometerkleinen Details und identifiziert strukturelle Defekte schnell - und hilft dadurch, die Markteinführungszeit für komplexe 3D-ICs zu verkürzen.

CA20

Produktreihe: CA

Industrie: Advanced Packaging, Semiconductors, Electronics, Science & Research

Defektgröße: <1 µm, <50 µm, <1 mm

Bauteilgröße: <435 mm

Betriebsmodus: 3D X-ray, 2D/3D

Highlights

  • Entwickelt für die Halbleiterindustrie
  • Erhältlich mit vollautomatischem Betrieb für eine nahtlose Integration in Ihre Fertigung
  • KI-basierte Datenanalyse und fortschrittliche Software gewährleisten eine schnelle und genaue Fehlererkennung, um systematische Probleme zu lösen und den Ertrag zu maximieren.
  • Zerstörungsfreie Technologie für dreidimensionale Einblicke in Lötstellen innerhalb von Minuten
  • Wiederholbare Ergebnisse durch zuverlässige und präzise Technologie, die eine stabile Prüfroutine unterstützt
  • Effiziente softwaregestützte Überprüfung für die Rezeptvalidierung oder die Ursachenanalyse identifizierter Fehler
  • Dose Manager für den Schutz strahlungsempfindlicher Komponenten

Schnellere Markteinführung, Kürzere Anlaufzeiten, hohe Produktionsausbeute

Durch die Kombination von hochauflösenden 3D-Röntgenfunktionen mit KI-gesteuerter automatischer Fehlererkennung (ADR) für Lötstellen hilft der CA20, systematische Probleme schneller als je zuvor zu erkennen. Es ist jetzt als vollautomatische Lösung erhältlich und lässt sich nahtlos in die Material- und Informationsflüsse der Fab integrieren, um verwertbare Echtzeit-Messdaten zur Sicherung der Produktqualität und Maximierung des Ertrags zu liefern.

Beschleunigen Sie Ihre Prozessentwicklung mit 3D-Röntgen

Während die Prüfung mit zerstörende Prüfmethoden Wochen dauern kann, stellt 3D-Röntgen Ihrer Forschung und Entwicklung Ergebnisse zur Verfügung, mit denen sofort gearbeitet werden kann. Als zerstörungsfreies Prüfsystem (NDT) liefert Ihnen das CA20 innerhalb von Minuten kristallklare 3-dimensionale Bilder von Nanodetails im Inneren Ihrer ICs. Überwachen Sie Ihren Interconnects-Prozess, finden Sie Fehler schnell, und lassen Sie Ihre Erkenntnisse in den Prozess zurückfließen.

 

 

Identifizierung von kritischen Advanced-Packaging-Fehlern

3D-Röntgen erzeugt hochauflösende 3D-Volumen, die es Herstellern ermöglichen, Bumps zu messen und zu prüfen und kleinste Defekte in Rekordzeit zu identifizieren. Mit dem CA20 können Sie kritische Defekte wie Non-Wet, Head-in-Pillow oder Bump-Shift so zuverlässig wie nie zuvor erkennen und die Abstandshöhe festlegen, um Die-Tilt oder Die-Verformungen zu überwachen.

From lab to fab. 

Ganz gleich, ob Sie qualitativ hochwertige Bilder für die Inspektion Ihrer Teile in einer Labor-/F&E-Umgebung benötigen oder eine vollautomatische Lösung, die sich problemlos in Ihren bestehenden Produktionsprozess einfügt, der CA20 ist in verschiedene Konfigurationen erhältlich, die Ihren Anforderungen entsprechen.

Erfahren Sie mehr über die untenstehenden Links, oder erkunden Sie alle Funktionen.

Inspektion von Kleinserien & Fehleranalyse.

Während Inspektionen mit zerstörerischen Methoden Wochen dauern können, liefert 3D-Röntgen Ihren F&E-Ingenieuren Ergebnisse, mit denen sie sofort arbeiten können. Fahren Sie Ihren Verbindungsprozess schnell hoch und finden Sie Fehler schnell mit dem Feedback, das Sie innerhalb von Minuten aus 3D-Bildern erhalten.

 

Voll-automatisierte Inspektion.

Unsere intelligente 3D-Röntgeninspektionslösung - für die Fertigung. Mit einem vollautomatischen Lader und automatischer Fehlererkennung wurde das CA20 entwickelt, um Ihre Produktionslinie mit einer konsistenten, schnellen und genauen 3D-Röntgeninspektion zu ergänzen. Überwachen Sie Ihren Verbindungsprozess, erkennen Sie Fehler schnell und führen Sie Ihre Erkenntnisse in den Prozess zurück.

 

Software Lösungen

Von Softwaretools, die Größe und Schweregrad von Defekten wie Lunkern, Lötstellenfehlern und Head-in-Pillow-Problemen schnell erkennen und analysieren, bis hin zu Lösungen, die sicherstellen, dass empfindliche Komponenten vor schädlichen Röntgenstrahlen geschützt bleiben, ist der CA20 mit einer Reihe von fortschrittlichen Softwarelösungen ausgestattet, die unsere drei Säulen Klarheit, Effizienz und Einblicke abdecken. Entdecken Sie im Folgenden nur einige davon. 

  • Das CoS 3D Clarity Paket als Teil unserer preisgekrönten Geminy-Software ist Ihr Werkzeug zur schnellen Generierung hochauflösender 3D-Bilder.
  • Nutzen Sie unseren Batch Manager, um Trays mit ICs oder Substratstreifen mit wenigen Klicks zu prüfen.
  • Schützen Sie Ihre empfindlichen Prüfteile vor kritischer Röntgendosis mit dem Dose Manager.

1. Clarity - Bildaufnahme

Erzielen Sie höchste Bilddatenqualität: Sehen Sie mehr Details Ihrer Prüfmuster, indem Sie brillante 2D- und 3D-Bilder aufnehmen.     

CoS 3D Clarity
Das CoS 3D Clarity Paket ist maßgeschneidert für Advanced Packaging Inspektionen mit dem CA20 System. Dank der präzisen Handhabung des CA20, seiner speziellen Semi-Röntgenbildgebungskette und der leistungsstarken 3D-Volumenrekonstruktionssoftware ermöglicht es eine revolutionäre Auflösung.

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2. Efficency -Konnektivität & Verwaltung

Steigern Sie Ihre Produktivität: Optimieren Sie Arbeitsabläufe zwischen Systemen, Software und Menschen durch nahtlose Konnektivität und Automatisierung.

Dose Manager
Das Dose Manager-Paket überwacht und verfolgt kontinuierlich die Röntgendosis, der die Probe ausgesetzt ist, und berücksichtigt dabei die Leistung der Röhre und den Abstand zur Probe. Um Schäden an empfindlichen Komponenten wie Flash- und DRAM-Speicher zu vermeiden, schaltet der Dose Manager die Röntgenstrahlung automatisch ab, sobald der Dosisgrenzwert erreicht ist. Zum Paket gehört ein Dosisreduktionskit mit einem Kollimator und 4 Filtern, die Teile außerhalb des interessierenden Bereichs vor der Strahlung abschirmen.

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Batch Manager
Das gleichzeitige Laden mehrerer Teile mit einem Mehrteilehalter kann ihren Durchsatz erheblich steigern. Mit dem Paket Batch Manager können Sie Teile in einem Raster automatisch prüfen, indem Sie dieselbe Prüfsequenz in einem Raster eines Mehrteilehalters anwenden. Abweichungen bei der Probenpositionierung werden ohne Benutzereingriff korrigiert. Das Batch Manager-Paket unterstützt die Prüfmodi 2D und 3D (CL).

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3. Insights - Bildanalyse und Prozesssteuerung

Verbessern Sie die Produkt- und Prozessqualität: Extrahieren Sie wichtige Informationen aus Bilddaten, um Ihrem Markt einen Schritt voraus zu sein.

CoS Insights (Powered by Dragonfly)

Produktivität durch 3D-Messtechnik von Chip-on-Substrate-Lötverbindungen gesteigert:

  • Beschleunigen Sie die Prozessentwicklung und Fehleranalyse mit schnellen, wertvollen Einblicken und CoS 3D Clarity-Scans für Bumps bis zu 50 µm.
  • Sichern Sie Qualität und Kontrolle durch das Erlernen wichtiger Parameter, das Erkennen von Defekten wie Head-in-Pillow und das Erzielen objektiver, reproduzierbarer Ergebnisse.
  • Effiziente Einrichtung für Einzelteile und Kleinserien mit automatisierter Sequenzprogrammierung und Werkzeugen für umfassende 2D- und 3D-Inspektionen.
  • Ergebnisse sind sowohl in PDF- als auch in maschinenlesbarer Form verfügbar.

CoS Insights umfasst auch Werkzeuge für softwaregestützte Hohlraum und Sichtprüfung.

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CoS Insights X 3D*

CoS Insights X 3D ist unsere Spezialsoftware für den CA20, ausgestattet mit einem vollautomatischen Inspektionspaket, einschließlich EFEM für IC-Trays aus dem Magazin. Sie bietet eine schnelle 3D-Bilderfassung in ausreichender Qualität sowie eine vollautomatische 3D-Bump-Metrologie und Defekterkennung einschließlich der Erstellung von Berichten für die automatische Verarbeitung.
 

  • Verkürzen Sie die Zeit bis zur Markteinführung und die Zeit bis zur Serienproduktion mit Echtzeit-Feedback und liefern Sie fehlerfreie Qualität durch frühzeitige Erkennung von Entwicklungstrends.
  • Verbessern Sie die Ausbeute durch Prozesskontrolle auf der Grundlage präziser und zuverlässiger automatisierter 3D-Messtechnikinformationen und steigern Sie die Produktivität durch vollautomatische Inspektionen rund um die Uhr.
  • Extrahierte Informationen sind auch in maschinenlesbarer Form für Post-Reporting-Aufträge verfügbar, z.B. json, xml und Direktzugriffsberichte können automatisch an Ihren bevorzugten lokalen Speicherort übertragen werden

 
 
*CoS Insights X 3D ist in Kombination mit automatischer Beladung erhältlich

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Dragonfly 3D World

Analysieren Sie Ihre 3D-Röntgendaten mit dieser intuitiven Software-Suite für die Bildverarbeitung. Nutzen Sie die Leistung der KI und verwenden Sie die Deep-Learning-Segmentierung, um ein Maximum an Informationen aus dem Niedrigdosis-Scan zu extrahieren, der Ihre empfindlichen Teile schützt. Wenn Sie die Zahlen nicht benötigen, können Sie Ihre Ergebnisse einfach mit beeindruckenden Grafiken hervorheben.

CA20-Prüfanwendungen in F&E und Produktion

  • Chip-on-Substrate einschließlich Fan-Out-Gehäuse-Lötverbindungen (C4-Bumps und Kupfersäulen)
  • 2.5 und 3D IC-Gehäuse Lötverbindungen einschließlich Microbumps
  • Substratstreifen-Lötbumps
  • Sensoren
  • MEMS und MOEMS

Sehen Sie sich CA20 in der Galerie an:

Ihr Download:

Technische Daten

Version MXI / Lab AXI / Fab
Prüfteildurchmesser 435 mm (17") 435 mm (17")
Systemabmessungen (B/T/H) 1650 x 1400 x 2050 mm 1955 x 3100 x 2200 mm*
Systemgewicht ~ 2350 kg ~ 3650 kg
Aktiver Bereich Detektor 130 x 130 mm 130 x 130 mm
Pixel Matrix 1536 x 1536 px 1536 x 1536 px
Pixelabstand 85 µm 85 µm
Schrägansicht +/- 65° (130°) +/- 65° (130°)
Max. Prüfteilgewicht 1 - 2 kg** 0.5 kg***
Scan-Modi 2D, 2.5D, 3D 2D, 2.5D, 3D

*Abhängig von der Ventilatorfiltereinheit / Reinraumklasse. **Max. Teilegewicht: 1 kg (auf Kohleplatte), 2 kg (auf Teileträger, wenn dieser an der Tischseite befestigt ist). ***Kumuliertes Gewicht aller Teile inkl. Gewicht des Trägers

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