FF35 CTは、オプションの2重管セットアップにより、これまでにないCTデータ品質と、中小型部品の検査における最高の汎用性を兼ね備えています。
FF35 CT の特徴
- 1種のX線管または2種のX線管構成で、ラボ用マイクロCTアプリケーションに最高の汎用性を提供
- 225kVマイクロフォーカス管と190kVナノフォーカス管をボタン1つで数秒以内に切り替え可能
- 花崗岩を用いた操作と空調による正確な結果
- ソフトウェアプラットフォームGeminyによる様々なCT軌道とFoV拡張によるアプリケーションの柔軟性
- MPESD = 5.9 µm + L/75 [L in mm]のオプションの計測バージョン
- 半導体市場規格に準拠したFF35 CT SEMIバージョンあり
超小型から中型部品の柔軟な検査が可能です。
コメット・エクスロンのFF35 CT、FF35 CT Metrology、FF35 CT SEMIは、非常に幅広いアプリケーションをカバーしています。研究開発部門における材料試験の改善、プロセス制御の最適化、小シリーズの検査、さらにさまざまな科学的用途に対応します。2種のX線管セットアップにより、高解像度CTシステムは、自動車、エレクトロニクス、航空、材料科学産業における品質保証と研究の可能性を大幅に拡大することができます。
FF35 CT のギャラリーをご覧ください:
実績のある技術:225kVマイクロフォーカス指向性ビーム管
320Wの高出力と水冷式ターゲットにより、225kVのコメット・エクスロンの指向性ビーム管は、1分以内の迅速なCTスキャンを可能にします。2D動作では、空間分解能は4μmに達します。1回の検査シーケンスでマイクロフォーカス指向性ビーム管とナノフォーカス透過性ビーム管を切り替えることができるため、適用範囲が大幅に広がります。
最適なソリューション:190kVナノフォーカスのトランスミッション
10mm以下の部品サイズであれば、サブミクロン領域の解像度を持つ190kVナノフォーカスのトランスミッションが最適なソリューションとなります。あらゆる試料の高解像度検査が可能になります。水冷式チューブヘッドにより、迅速な温度バランスと最高の焦点位置の安定性を実現し、4つのモードにより、パワーに応じた焦点位置の最適な調整が可能です。また、2つの管球はそれぞれジェネレーターとHVケーブルを備えているため、再構成の必要なく切り替えが可能です。
自由度の高い多彩な軌跡
グラフィックシンボルと豊富な自動化機能により、直感的なユーザーインターフェースGeminyは、オペレーターのスキルに左右されない簡単な操作を可能にします。また、HeliExtend(ヘリカルCTスキャン・再構成法)などのCT軌道、水平視野拡張、仮想回転軸、Quick/QualityScanなど、パーツサイズや検査タスクに柔軟に対応できる機能を数多く備えています。
FF35 CTで検査できる項目は何ですか?
- 電子部品(SMDを含む
- 新素材や新製法に関わる製品(例:積層造形部品、繊維強化プラスチックなど
- 電池セル・モジュール
- プラスチック射出成形品
- マイクロシステム (MEMS、MOEMS)
- 医療用具(例:カニューレなど
- 軽合金鋳造品
- 地質学的、古生物学的、生物学的サンプル
FF35 CTはどのような用途に使われるのでしょうか?
- 品質保証、材料分析、研究
- 故障解析、構造解析
- 組立チェック
- 少量生産品の検品
- プロセス制御
- デジタイズ
- セグメンテーション
FF35 CT SEMI:半導体分野での用途を想定して開発
コメット・エクスロンの FF35 CT SEMI X線システムは、研究開発や品質保証に使用される革新的で汎用性の高い高解像度CTシステムです。特に半導体関連産業での検査用に開発されました。FF35 CT SEMIは、危険・安全規格SEMI® S2-0818 & SEMI® S8-0218を含む高いSEMI®規格に適合し、それに基づいて認定されています。
FF35 CT Metrologyによる微細な内部構造の測定
コメット・エクスロンの FF35 CT Metrologyは、CTを用いた寸法管理、例えば微細な内部構造の測定などの精度レベルを引き上げます。測定評価から切り離された1回のCTスキャンで、ほぼ無制限の測定点を取得します。シームレスな欠陥解析と公称値と実際の比較により、時間を節約し、製品サンプリングの修正ループと修正コストを削減します。FF35 CT Metrologyは、VDI/ VDE 2630の規格に適合しています。


Technical Data
Attribute | Respective Value |
Sample Diameter | 530 [mm] (20.9") |
Sample Height | 800 [mm] (31.5") |
Maximum Sample Weight | 27 [kg] |
System Dimension | 2960 x 1590 x 2120 [mm] |
X-ray Tube | Y.FXT 225.48 directional beam tube, additional optional Y.FXT 190.61 transmission tube |
CT Modes | QuickScan®, QualityScan, cone-beam CT, helical CT, virtual rotation axis, FoV extensions, volume crop |
Manipulation | granite-based, active air damping, 6 to 8 axes, wide FDD range |
Geminy
One user interface for all tasks.
Learn moreLife Cycle Service
Ready when and where you need us.
Learn moreRelated topics:
